金属材料在非真空炉内熔炼时，液态金属要吸收H2、O2、N2、CO等气体。而且金属材料在非真空炉内熔炼时，对气体的溶解度随温度升高而增大，随温度的下降而减小。所以当非真空电炉内的液态金属冷却成铸锭时，气体在金属中的溶解度降低，由于冷却速度太快，气体无法完全释放出来，而被留在固定金属内部，形成气孔或白点（由H2形成）等冶金缺陷或以原子或离子状态固溶在金属内。而采用真空熔炼炉，这些缺陷可大大降低。
在真空熔炼炉进行金属熔炼时，随着真空炉内气氛中的有关气体分压减小，气体在金属中的溶解度也减小，一直到与该气体分压相对应的平衡溶解度。上海实验电炉厂，如果真空炉内金属中含有气体的量大于平衡溶解度，则多余的气体就会被释放到真空电炉内，被真空系统抽走。因此减小真空炉内的压力，即提高真空炉的真空度，可以达到减少金属中所溶气体的目的，即起到除气作用。
在真空炉中，金属的脱气过程分为三个过程：金属中的气体向表面扩散；气体从金属表面放出；气体从真空炉内抽走。真空炉内决定脱气速度的三个因素：固相中气体分子的扩散速度，真空除气之所以能够出去金属内部的气体，主要因素是在负压条件下去除金属中的气体，所以真空炉内的真空度状态直接影响真空除气的速度和效果；真空炉内真空度一定的条件下，真空电炉内温度越高除气效果越好；真空炉内除气的真空度和温度已定，真空除气的时间影响真空除气的效果。