真空炉内加热金属时，在低温下，炉内的水分和空气中的氮气、氧气以及在工件表面上涂覆的油脂和其他杂质等会产生真空蒸发逸散。真空电炉内温度上升到800℃以上时，从工件表面会放出氢、氮和氧化物的分解气体，完成真空脱气作用。上海实验电炉厂，由于这种热分解而形成的蒸发逸散现象排除了工件表面上所存在的有害气体，逸散了氧化物，使金属重现光亮，这是真空热处理优点的又一个方面，特别是有害气体的排除和光亮热处理等，有利于提高工件的质量，这是其他非真空炉热处理所不具备的。金属的这种真空蒸发逸散，为真空蒸镀工艺提供了理论依据，得到了广泛的应用。
但是在真空炉内进行热处理时，常常会发现零件与零件之间，或零件与料框之间相互黏连，这些都是真空热处理的缺点所在：金属的真空蒸发特性。根据相平衡理论，在不同的温度下，蒸气作用于金属表面的平衡压力（蒸气压）是不同的。温度高蒸气压就高，固态金属的蒸发量就大；温度低蒸气压就低，如果温度一定，则蒸气压也一定。当外界的压力小于该温度下的蒸气压时，金属就会产生蒸发（升华）现象。犹如樟脑在空气中因升华作用而从固体变成气体挥发掉一样。外界压力越小，即真空度越高，就越容易蒸发。因此在真空炉内进行热处理时，对蒸发问题应予以应有的重视，认为只要提高真空炉的真空度，就能取得良好效果的看法是不全面的。必须根据工件的种类，充分注意蒸发的问题。即根据真空电炉中被处理的材料中合金元素的蒸气压和加热温度，来选择合适的真空度，以防止合金元素的真空蒸发。只要真空炉的真空度选择适宜，是可以防止合金元素蒸发的。另外在真空炉中加热时，还可以考虑根据金属材料的种类，通入高纯度的惰性气体（即反向充气）来调节炉内的真空度，以低真空加热的方法防止合金元素的蒸发。通入高纯度惰性气体不仅可以调节真空度，而且由于惰性气体的存在，形成对流循环，更有利于材料的均匀加热。