真空热处理技术是随着真空热处理设备的发展而发展的，随着科技的进步和各种真空炉的层出不穷，真空热处理技术成为热处理技术发展的热点。在真空电炉内进行热处理的优点是：无氧化、无脱碳、脱气、脱脂、表面质量好、畸变小、综合力学性能优异、无污染、无公害及自动化程度高等。上海实验电炉厂，缺点是：某些合金元素在真空中易蒸发，生产中需要充入惰性气体加热保护，真空热处理设备价格昂贵，投资较大。
在真空炉中加热具有别的介质（大气、可控气氛、盐浴）加热不具备的特点。因为一般加热实际上不能够在广泛温度范围和普遍条件下都完全保持被加热材料炽热表面与气氛严格平衡和不起任何化学反应，氧化、脱碳、增碳等是普遍发生的。而真空加热是在极稀薄的气氛中进行的，它可以避免一般加热的弊病。真空状态下传热是单一的辐射传热，理想灰体传热能力与绝对温度的四次方成正比，所以真空炉内温度越高，辐射效率越高。在低温阶段升温必然缓慢，工件表面与心部之间的温差小，热应力小，工件畸变小。
一般来说真空电炉内的加热时间应保证完成升温、保温和组织转变（奥氏体均匀化）三个过程。由于真空炉炉胆隔热层加热时蓄热量少，保温性能好，热损失小。因此当真空炉中测量热电偶升到设定温度时，被加热的工件还远未到温，这就是真空加热的滞后现象。在生产实践中，可通过真空炉的观察窗观察，待加热工件、料筒和炉膛颜色完全均匀一致时，可认为被加热工件到温。工模具在真空炉内淬火时，保温时间需要适当延长以便使碳化物得以溶解，充分奥氏体化。在实际生产中，影响真空炉内加热速度的因素很多，有工件材料、尺寸、形状与表面光洁度、加热温度、加热方式、装炉量与装炉方式等。因此，在指定真空热处理工艺规范时，这些因素都应该加以考虑，加热时间包括真空加热滞后时间和组织均匀化时间