1. 接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。
2. 打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀(注意把住法兰，避免炉管受力过大)，抽空刚玉管和气体管路。
3. 当管式炉真空表到-0.1(指针到尽头时)，关闭出气阀，关闭进气阀。
4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa(2小格)。
5. 逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀;密切注意管式炉气压表，确认气压在0.08MPa以下(如气压高于0.08MPa，打开管式炉出气阀放气)。
6. 管式炉气压表当气压稳定时，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。
7. 重复4、5步两次。
8. 关机械泵，打开管式炉进气阀。